Mot integration av kolbaserade kondensatorer i industriell wafer-produktion

Viktiga resultat som projektet gav

Utfallet av projektet blev tyvärr att inget konsortium kunde byggas för att söka till ”smartare elektronik-utlysningen” i mars 2021. Detta framför allt på p.g.a. den korta projekttiden i kombination med den rådande pandemiska situationen samt att intresserade partners inte kvalificerade som medsökande parter för att delta i ett konsortium enligt ”smartare elektronik-utlysningen”.

Långsiktiga effekter som förväntas

Även om projektet inte lyckades bygga ett konsortium för att ansöka till nästa utlysning inom ramen av ”smartare elektronik”, bidrog projektet till att bredda kundkretsen för CNF-MIM och att till öka möjligheterna att snabbare nå integration av CNF-MIM på 200 och 300 mm wafers, genom att etablera djupare kontakt med HVM CVD tillverkare samt halvledarfoundries. Samarbeten och interaktioner mellan Smoltek och ett flertal av dessa parter fortsätter men utanför ramen av ”smartare elektronik”.

Upplägg och genomförande

Projektet fokuserade på tre typer av möjliga partners för att ta fram ett konsortium för ansökan i nästa ”smartare elektronik” utlysningen: halvledarfoundries, processutrusningstillverkare samt slutanvändare av tekniken. Specifika substrat tillverkades för demonstration av CNF växt i ett CVD system hos en leverantör, som inte kunde genomföras under projekttiden främst p.g.a Covid-pandemin. Projektet bidrog till att bredda kundkretsen för CNF-MIM och att utveckla djupare kontakter med såväl HVM CVD tillverkare som halvledarfoundries.