KDT JU 2021 IA HICONNECTS
| Diarienummer | |
| Koordinator | Excillum AB |
| Bidrag från Vinnova | 3 000 000 kronor |
| Projektets löptid | januari 2023 - december 2025 |
| Status | Pågående |
| Utlysning | Chips Joint Undertaking – ett EU-program för att stärka konkurrenskraften inom halvledare |
Syfte och mål
Excillums utveckling i projektet är inriktad på en prototyp för röntgenkälla med 4 W måleffekt vid 150 nm upplösning och 160 kV accelerationsspänning, vilket möjliggör röntgeninspektionssystem (utvecklat av deepXscan) med högre upplösning och acceptabel genomströmning jämfört med dagens toppmodern.
Förväntade effekter och resultat
Målgruppen för utvecklingen av detta projekt är OEM:er, slutanvändare (industri och forskningslabb) av röntgensystem (för metrologi och andra applikationer) som integrerar Excillums röntgenkälla. Öppnar ny metrologimarknad efter framgångsrik implementering av ny röntgenkälla. Den ekonomiska effekten är den fortsatta tillväxten av halvledarindustrin genom att möjliggöra ytterligare skalning genom heterogen integration i 3D med avancerad packningsteknology tack vare högre precisionsmätning som stödjer de ständigt växande tillverkningsutmaningarna.
Planerat upplägg och genomförande
Månad 2 - HICONNECTS Kickoff möte Månad 16 - Milstolpe: X-ray source prototype ready for evaluation Månad 24 - Leverans: X-ray source prototype operational