Grön CVD

Syfte och mål

Chemical Vapor Deposition (CVD), används för att skapa tunna lager av olika material för allt från elektronik till verktyg och är därmed direkt och indirekt väldigt viktigt för ett stort antal branscher. CVD använder samt förbrukar stora mängder energi och gaser och har en enorm potential till förbättringar från ett hållbarhetsperspektiv Detta projekt ska låsa upp den potentialen.

Förväntade effekter och resultat

Resultaten från projektet kommer att kunna användas av Sandvik Coromant och Seco Tools för att sänka deras produktionskostnader och låta dem tillverka belagd hårdmetall på ett mera hållbart sätt. Reaktortillverkaren Epiluvac, med främst internationella kunder inom elektronikindustrin, kan utnyttja olika lösningar för resurseffektiv CVD i sin design av CVD-reaktorer för elektronikindustrin, vilket ger dem en hållbarhetsfördel mot sina konkurrenter samt sprider resultaten från projektet till elektronikindustrin.

Planerat upplägg och genomförande

Projektet ska ta fram en reaktordesign för en CVD-reaktor som möjliggör en högre användning av de tillförda molekylerna jämfört med dagens CVD-processer. Den nya reaktorn kommer även designas med minimal termisk budget och vakuumvolym vilket även minimerar elförbrukningen. Projektet ska även utveckla en modell för att kvantifiera hållbarheten i en CVD-process med avseende på miljöpåverkan. Modellen ska göras så generell att den kan appliceras på en given CVD-process, vilket kommer leda till att projektet kommer att ha en positiv effekt på alla CVD-processer i all industri.