ECSEL 2018 IA MADEin4 Excillum AB
| Diarienummer | |
| Koordinator | Excillum AB |
| Bidrag från Vinnova | 9 825 833 kronor |
| Projektets löptid | april 2019 - mars 2022 |
| Status | Avslutat |
| Utlysning | ECSEL |
Viktiga resultat som projektet gav
MADEin4, ett ECSEL JU-projekt, tog upp en viktig utmaning för ECS-teknologierna, närmare bestämt den betydande avvägningen mellan den metrologiska känsligheten, precisionen och noggrannheten till dess produktivitet. Projektet utvecklade nästa generations mätverktyg, maskininlärningsmetoder och applikationer till stöd för Industry 4.0 högvolymtillverkning inom halvledartillverkningsindustrin. Excillums huvudsakliga bidrag i MADEin4 var utvecklingen av MetalJet-teknologin för lämplighet i XRF-applikationer för tillverkning av halvledarvolymer.
Långsiktiga effekter som förväntas
Excillum nådde sina projektmål och levererade en förbättrad MetalJet prototypröntgenkälla som arbetar på 1000 W, en fyra gånger förbättring av effekt i förhållande till röntgenkällan som var tillgänglig vid starten av MADEin4-projektet. Resultaten har presenterats vid internationella evenemang som är relevanta för SEMI-branschen och ingår redan i Excillums produkter för olika marknader.
Upplägg och genomförande
Projektet bestod av 47 partners som arbetade i 6 arbetspaket, där mer än hälften av partnerna samarbetade kring arbetspaketet för metrologi där Excillum hade sin huvuduppgift. Det fanns flera utmaningar med Covid19, men projektet har genomförts på ett bra sätt. Excillum lyckades leverera som planerat ett av de första huvudprojektresultaten, något som har uppskattats av projektpartners, koordinator och granskare. Vi har dragit nytta av ett bra samarbete och samordning både inom arbetspaketet och interarbetspaket.