Avancerad laser för industriell litografi
| Diarienummer | |
| Koordinator | Kungliga Tekniska Högskolan - Institutionen för tillämpad fysik |
| Bidrag från Vinnova | 1 530 000 kronor |
| Projektets löptid | augusti 2018 - oktober 2022 |
| Status | Avslutat |
| Utlysning | Strategiska innovationsprogrammet Smartare elektroniksystem |
| Ansökningsomgång | Smartare Elektroniksystem. Forsknings- och innovationsprojekt 2018 |
Viktiga resultat som projektet gav
Projektet syftade till att ta fram en prototyp till en energieffektiv laser för nästa generation maskritare. Denna typ av laser saknas på marknaden idag och Mycronic kommer med en sådan laser att kunna utveckla bättre maskiner med väsentligt lägre driftkostnader. Lasern utvecklades av KTH gruppen, prototypen byggdes av SLF Svenska Laserfabriken AB och prototypen utvärderades på Mycronic. Vi uppnådde inte helt målen för uteffekt och brus, men i övrigt fungerade den bra.
Långsiktiga effekter som förväntas
Vi har inte nått prestandamålen så ytterligare arbete är nödvändigt. När målen är uppnådda har SLF Svenska Laserfabriken AB förhoppningar att kunna bli en leverantör till Mycronic AB. På så sätt får de en bättre produkt och kan också spara energi motsvarande ca. 30 GWh/år åt sina kunder. Dessa nya produkter beräknas ge en ökad årsomsättning på ca.500-1000 MSEK.
Upplägg och genomförande
Projektet startade redan på planeringsstadiet då Mycronic insett att vi hade relevant teknologi. När finansieringen var klar detaljdesignade och byggde vi lasern. Succesivt har vi kunnat förbättra dess prestanda. Avsaknaden av tillräckligt bra kristaller har varit den svaga länken och i väntan på bättre har projektet försenats. Till slut packade vi den senaste versionen, tog den till Mycronic och gjorde sluttestet. Analys: En bättre icke-linjär kristall behövs.